亚洲a综合精品中文字幕,欧美香港日本韩国三级,亚洲欧美一区二区三区另类,国产亚洲综合99久久系列

全國服務(wù)咨詢熱線:

18511111800

article技術(shù)文章
首頁 > 技術(shù)文章 > 勻膠旋涂儀的知識點(diǎn)介紹

勻膠旋涂儀的知識點(diǎn)介紹

更新時間:2022-11-25       點(diǎn)擊次數(shù):2736
  勻膠旋涂儀主要用微細(xì)加工、半導(dǎo)體、微電子、光電子和納米技術(shù)工藝中在硅片、陶瓷片上勻膠等工藝與光刻、烘烤等設(shè)備配合使用。勻膠旋涂儀價格實(shí)惠,操作簡單,結(jié)構(gòu)小巧緊湊,占地空間小,為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。能夠較大限度的保證旋涂均勻;可對大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。
 
  勻膠旋涂儀通過在片托上產(chǎn)生負(fù)壓,將需要旋涂的基底材料吸附在片托上,膠液滴注在基底材料的表面,通過準(zhǔn)確調(diào)節(jié)電機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度,以此來改變離心力大小,同時通過滴膠裝置控制膠液的流量,來達(dá)到制備薄膜所需的厚度,另外薄膜厚度也取決于旋涂時間,膠液的粘度,余覆的溫度和濕度等環(huán)境因素。
 
  滴膠這一步把光刻膠滴注到基片表面上,高速旋轉(zhuǎn)把光刻膠鋪展到基片上形成簿層,干燥這一步除去膠層中多余的溶劑。兩種常用的滴膠方式是靜態(tài)滴膠和動態(tài)滴膠。
 

勻膠旋涂儀

 


 
  靜態(tài)滴膠就是簡單地把光刻膠滴注到靜止的基片表面的中心,滴膠量為1-10ml不等。滴膠的多少應(yīng)根據(jù)光刻膠的粘度和基片的大小來確定。粘度比較高或基片比較大,往往需要滴較多的膠,以保證在高速旋轉(zhuǎn)階段整個基片上都涂到膠。
 
  動態(tài)滴膠方式是在基片低速(通常在500轉(zhuǎn)/分左右)旋轉(zhuǎn)的同時進(jìn)行滴膠,“動態(tài)”的作用是讓光刻膠容易在基片上鋪展開,減少光刻膠的浪費(fèi),采用動態(tài)滴膠不需要很多光刻膠就能潤濕(鋪展覆蓋)整個基片表面。尤其是當(dāng)光刻膠或基片本身潤濕性不好的情況下,動態(tài)滴膠尤其適用,不會產(chǎn)生針孔。滴膠之后,下一步是高速旋轉(zhuǎn)。使光刻膠層變薄達(dá)到要求的膜厚,這個階段的轉(zhuǎn)速一般在1500-6000轉(zhuǎn)/分,轉(zhuǎn)速的選定同樣要看光刻膠的性能(包括粘度,溶劑揮發(fā)速度,固體含量以及表面張力等)以及基片的大小。快速旋轉(zhuǎn)的時間可以從10秒到幾分鐘。勻膠的轉(zhuǎn)速以及勻膠時間往往能決定膠膜的厚度。
 
  勻膠旋涂儀旋轉(zhuǎn)速度的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速如果誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。勻膠旋涂儀的真空泵一定要選用無油的,壓力標(biāo)定準(zhǔn)確,因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿?,如果真空吸附力降低,會?dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,還會讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成堵塞。
 

勻膠旋涂儀

 

華儀行(北京)科技有限公司
地址:北京市豐臺區(qū)科興路7號國際企業(yè)孵化中心301室
郵箱:cif_lab@163.com
傳真:86-010-63752028
關(guān)注我們
歡迎您關(guān)注我們的微信公眾號了解更多信息:
歡迎您關(guān)注我們的微信公眾號
了解更多信息
亚州一区二区五码在线观看-97在线视频免费公开-小明久久国内精品自线-人妻av天堂综合一区| 欧美日韩精品视频免费下载-中文字幕一区二区三区伦理-一级特黄大片亚洲高清-午夜欧美日韩精品久久久久| 粉嫩小粉嫩小国产小视-老熟妇人妻久久中文字幕麻豆网-蜜臀av在线播放国产-成年人的三级视频网站| 亚洲香蕉久久一区二区三区四区-国产夫妻内射一级一片-成人午夜福利片免费观看-一区二区三区四区黄色网| 91九色中文在线播放-日韩中文字幕熟女人妻-成人黄色一级在线观看-日本一区二区三区视频在线| 欧美日韩偷拍丝袜美女二区-精品少妇人妻av免费久久洗澡-四虎精品永久在线观看视频-亚洲国产成人一区二区在线观看| 在线观看91精品国产性-国产中文字幕精品免费-免费日韩毛片在线观看-精品人妻暴躁一区二区三区| 中文字幕亚洲综合精品一区-久久好视频久久这里有精品-国产在线传媒高清视频-日韩精品一区二区亚洲av失禁| 亚洲免费国产午夜视频-女同亚洲一区二区三区精品久久-欧美一级黄片高清免费-久久国产亚洲中文字幕| 国产精品女同一区二区久久夜-日本精品女人一区二区三区-亚洲成人久久久久久-激情五月婷婷综合激情| 亚州国产精品一区二区-尤物在线观看视频免费-国产91久久精品视频-一色桃子中出欲求不满人妻| 久久精品国产色蜜蜜麻豆-国产精品一区二区三区你懂的-日本国产精品中文字幕-91黄色国产在线播放| 精品国产成人一区二区99-午夜爱爱视频最新深夜-午夜福利片中文字幕在线观看-成人性生交大片免费小优| 日韩色视频免费观看网站大全-免费中文对白国产操片-国产农村妇女一页二页-欧美三级午夜理伦三级在线| 日韩中文有码字幕在线观看-黑人国产一区二区三区-久久国产精品久久精品-国产激情在线一区二区三区| 中文字幕日韩有码av-麻豆国产成人av高清在线-可以免费观看的av毛片-久久这里只有精品国产亚洲| 台湾香港a毛片免费观看-国产美女口爆吞精的后果-亚洲天堂成人免费在线-国模在线视频一区二区三区| 亚洲av成人精品日韩一区二区-日本50岁成熟丰满熟妇-欧美日韩久久婷婷一区二区-亚洲成人天堂在线观看| 日韩精品少妇一二三区免费av-麻豆蜜桃av免费观看-亚洲欧洲日韩一区二区中文字幕-久久九特黄的免费大片| 中文字幕亚洲精品人妻-91九色免费视频网站-黄色av全部在线观看-四虎最新地址在线观看| 久热视频在线免费观看-亚洲一区二区日韩综合久久-免费观看在线观看青青草视频-精品一区二区亚洲一区二区血炼| 欧洲激情综合啪啪五月-国产精选三级在线观看-七七久久成人影院网站-男人深夜福利在线观看| 日韩网激情视频在线观看-国产午夜98福利视频在线观看-国产精品尤物极品露脸呻吟-日韩手机在线视频观看成人| 精品亚洲无线一区人人爽人人澡人人妻-国产欧美一区二区综合日本-亚洲天堂中文字幕君一二三四-九九热视频这里有精品| 午夜中文字幕一区二区三区-亚洲精品av在线免费观看-蜜臀av一区二区三区久久bu-五月激情综合在线视频| 黄片毛片av免费观看-四虎国产精品久久免费地址-精品午夜一区二区三区国产av-亚洲成a人一区二区三区久久| 成人在线永久免费视频-日本理论电影一区二区三区-中文字幕成人av电影-91麻豆精品国产91久久麻豆| 国产特级黄色录像视频-成人亚洲精品专区高清-国产97在线免费观看-91精品青草福利久久午夜| 口爆调教视频在线播放-一区二区三区中文字幕自拍偷拍-亚洲精品乱码免费精品乱码免费-国产精品日韩欧美高清情| 华人精品在线免费观看-国产熟女精品一区二区三区-国产成人午夜视频网址-女女同性女同一区二区三区九色| 尤物视频在线观看网址-欧美午夜精品久久福利-久久这里只有精品视频5-国产精品成人综合色区| 五月六月丁花香激情综合网-久久这里只有精品好国产-很淫很堕落第一版主网-亚洲精品欧美精品国产精品| 人妻av久久人妻水蜜桃-国产一区视频在线二区-五月婷六月丁香久久综合-国产精品中文字幕有码| 久久久精品国产亚洲av高清涩受-国产精品一区二区三区成人-欧美日韩国产精品视频一区二区三区-大陆美女阴户特写毛片| 蜜桃在线观看免费网站-亚洲成熟女性一级黄色蝶片-日韩一级黄色片天天看-一区二区三区在线视频观看美女| 亚洲性生活免费播放av-成人深夜在线免费观看-久久国产精品亚洲精品-黄色大片亚洲黄色大片| 中出 中文字幕 久久-成人午夜大片免费在线观看-免费观看黄欧美视频网站-午夜福利观看在线观看| 最新国产av在线播放-成人av免费观看黄色-中文字幕人妻av一区二区风险-亚洲av午夜精品福少妇喷水| 日韩中文有码字幕在线观看-黑人国产一区二区三区-久久国产精品久久精品-国产激情在线一区二区三区| 激情性插进去视频伦理-成人黄网站免费永久在线观看-青草视频在线观看这里只有精品-国产精品高潮久久呻吟av| 风韵丰满熟妇老熟女呻吟-亚洲国产丝袜久久久精品一区二区-久久午夜精品一区二区三区-人妻视频精品一区二区三区|