轉(zhuǎn)瓶等離子清洗機的等離子體與材料表面如何相互作用？
更新時間：2020-05-27 點擊次數(shù)：1219
轉(zhuǎn)瓶等離子清洗機在實際應(yīng)用中往往會使用不同的工藝氣體，所產(chǎn)生的等離子體會含有豐富多樣的活性粒子和高能量粒子，這些離子體和固體材料表面的相互作用對等離子體本身或?qū)腆w材料都有重要的意義。
轉(zhuǎn)瓶等離子清洗機中的粒子將能量傳遞給固體材料表面，同時給等離子體帶來大量的雜質(zhì)。對固體材料來說，由于這些高能粒子的轟擊和傳遞的能量，使固體材料表面發(fā)生各種物理和化學反應(yīng)，所以研究等離子體和固體材料表面的作用過程，對材料表面的改性、新材料和新工藝的探索都非常有幫助。
不同轉(zhuǎn)瓶等離子清洗機和各種固體材料表面的作用依賴于等離子體的物理參數(shù)、固體材料的種類、表面的結(jié)構(gòu)和形態(tài)等因素，但等離子體和固體材料表面的作用僅發(fā)生在表層幾到幾十個納米(的深度，因而不會損傷基體的固有性能；而且可賦予材料表面新的實用性能。
吸附和解吸附對于等離子過程是非常重要的，在很多情況下，它們中的一個或者另一個往往是表面過程的決定因素。
吸附源于入射分子與表面間的吸引力。吸附分為兩種：物理吸附是源于分子與表面的弱相互作用，物理吸附是放熱的，物理吸附的分子與表面的結(jié)合能非常弱，吸附后它們可以迅速地從表面進行擴散；當吸附原子或分子與表面原子形成化學鍵以后，便構(gòu)成了化學吸附，此過程為強放熱過程。
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