勻膠機的作用及工作原理描述
更新時間:2019-10-26 點擊次數(shù):4775
勻膠機主要關鍵元器件由美國進口,整機裝配在國內(nèi)安裝調(diào)試完成。該機2002年已通過CE認證,其抗干擾以及干擾性都較其他非CE產(chǎn)品要好。該性能的具體表現(xiàn)為:當該勻膠機在運轉(zhuǎn)時,它不影響同處一室的其他設備,以保證其他設備的正常使用(如指針不漂移等受干擾后有影響的反應);同時它本身也不會受到其他同處一室的設備運轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的磁場的干擾,從而保證實驗效果的穩(wěn)定性和可靠性。
工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機常用于各種溶膠凝膠實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關??梢栽O定多達20個程序段來存儲不同材料的制備過程,每個程序段都能設定51步速度改變,當前參數(shù)具斷電保護功能。
針對目前勻膠機市場品牌眾多,良莠不齊現(xiàn)象,筆者結(jié)合自己多年從事勻膠機技術服務的實際經(jīng)驗。幫助廣大用戶提高辨別能力,為用戶提供了直觀明確的選擇標準。
1、 旋轉(zhuǎn)速度:轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速如果誤勻膠機圖冊差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。國產(chǎn)的大部分低端勻膠機只能提供轉(zhuǎn)速范圍,并不能標定實時的轉(zhuǎn)速。
2、 真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造
真空泵一定要無油的,壓力標定準確,國內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。用過勻膠機的客戶常常會關心怎么清洗的問題,這一點許多國外的勻膠機做得不錯,他們有通過聯(lián)動機制,如果真空吸附力不夠的時候,不會開始旋轉(zhuǎn)。
3、 材質(zhì)的選擇
對于半導體化工行業(yè)的應用來說,材質(zhì)的選擇尤為關鍵,國產(chǎn)的大部分勻膠機采用的是鐵板噴漆或者普通塑料材質(zhì),因為這種材質(zhì)的成本很低。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導致旋涂時,時高時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。目前有些國外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟隆)材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點。